Granitozko aire-errodamendu sistemak oso erabiliak diraultra-zehaztasunerdieroaleen fabrikaziorako, lerrokatze optikorako eta nanometro-eskalako metrologiarako mugimendu-plataformak.
Sistema hauek kontaktu mekanikoa ezabatzen dute presiopeko aire-geruza mehe bat erabiliz, ia zero marruskadura-mugimendua lortuz.
Aire-errodamenduaren printzipioa
Aire-kojineteek bi gainazalen artean aire konprimitua sartuz funtzionatzen dute, 2-20 μm-ko aire-geruza bat sortuz.
Honek ezabatzen du:
- Marruskadura mekanikoa
- Higadura
- Irristatze-jokabidea
Sistema fluidoen film dinamikan eta fluxu laminar egonkorrean oinarritzen da.
Granitoaren eginkizuna
Granitoak honako hau eskaintzen du:
- Egitura-egonkortasuna
- Desbideratze termikoaren kentzea
- Bibrazioen moteltzea
Mugimendu-sistemaren erreferentzia-oinarri mekaniko gisa balio du.
Sistemaren osagaiak
- Granitozko oinarria
- Aire-errodamenduen alfonbrak
- Aire hornidura sistema
- Zehaztasun-kodetzaileak
- Mugimendu-kontrol sistema
Errendimendu Ezaugarriak
Ohiko errendimenduak honako hauek ditu barne:
- Mikra azpiko kokapen zehaztasuna
- Zuzentasun handia bidaia luzeetan
- Zero atzerakada mekanikoa
Errore-iturri nagusien artean, aire-presioaren ezegonkortasuna, desbideratze termikoa eta kodetzailearen errorea daude.
Aplikazioak
- Erdieroaleen oblea ikuskatzea
- Litografia sistemak
- Lerrokatze optikoko plataformak
- Goi-mailako metrologia makinak
Maiz egiten diren galderak
Aire-kojineteak higatzen al dira?
Kontaktu mekanikorik ezak higadura ezabatzen du.
Zergatik erabili granitoa?
Egonkortasunerako eta bibrazioen moteltzea lortzeko.
Zerk mugatzen du zehaztasuna?
Airearen egonkortasuna eta efektu termikoak.
Karga astunak eraman ditzakete?
Bai, diseinuaren arabera.
Argitaratze data: 2026ko uztailak 3