Granitoa oso erabilia izan da erdieroaleen ekipamenduak fabrikazioan eta diseinuan urte askotan zehar. Hau da, bere propietate bikainengatik, aplikazio askotan material aproposa bihurtzen dutenak. Granitoa oso erresistentea da higadura, korrosio eta kolpe termikoekiko, eta horrek ingurune gogorretan erabiltzeko egokia da. Artikulu honetan, granitoaren aplikazio arrunt batzuk hitz egingo ditugu erdieroale ekipamenduetan.
1. Metrologia Ekipamendua
Metrologiako ekipoak gailu erdieroaleen dimentsioak eta propietateak neurtzeko erabiltzen da. Granitoa maiz erabiltzen da halako ekipamenduen oinarri gisa dimentsio handiko egonkortasunagatik. Granitoaren gainazalaren lautazio eta zehaztasunak erreferentzia ezin hobea eskaintzen du neurketa zehatzak lortzeko. Gainera, Graniteko egonkortasun termikoak tenperatura aldakuntzak direla eta dimentsio aldaketak izateko arriskua murrizten du.
2. Ekipamendu optikoa
Granitoa ere erabiltzen da ekipamendu optikoetan, esaterako, litografia-makinak, gailu erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen direnak. Granito oinarriak plataforma egonkorra eskaintzen du makina hauetan erabiltzen diren doitasun handiko optikoetarako. Granitaren bibrazio bibrazio bikainak ere laguntzen du optikoen errendimendua eta zehaztasunak eragina izan dezaketen bibrazioak murrizten.
3. Wafer prozesatzeko ekipoak
Wafer Processing erdieroaleak hainbat urrats dakartza, garbiketa, grabatzea eta deposizioa barne. Granitoa wafer prozesatzeko ekipoen hainbat osagaitan erabiltzen da. Adibidez, granitoa lurruneko gordailu kimikoetarako (CVD) ekipamenduetarako substratu gisa erabiltzen da, hau da, film meheak silizioko ogienetan gordetzeko erabiltzen dena. Granitoa grabatzeko ganberak eta beste prozesuko ontziak eraikitzeko ere erabiltzen da, non bere erresistentzia kimiko bikaina eta dimentsioko egonkortasuna ezinbestekoa da.
4. Probako ekipoak
Probako ekipamenduak gailu erdieroaleen errendimendua eta kalitatea egiaztatzeko erabiltzen da. Granitoa maiz erabiltzen da proba ekipamendurako oinarri gisa, zurruntasun eta egonkortasun handia dela eta. Granitoak plataforma ez-magnetiko eta ez-eroalerik ez du, proba sentikorreko ekipamenduekin interferentzia ezabatzen duena. Granitoaren gainazalaren lautadak eta zehaztasunak proba emaitza oso zehatzak ahalbidetzen dituzte.
Bukaera
Ondorioz, granitoa material garrantzitsua da ekipamendu erdieroaleen diseinuan eta fabrikazioan. Bere propietate bikainak, dimentsioaren egonkortasuna, egonkortasun termikoa, erresistentzia kimikoa eta bibrazioaren hezetasuna barne, aplikazio askotan material aproposa bihurtzen dute. Granitoa erdieroaleen ekipoen osagai kritikoetan erabiltzen da, besteak beste, metrologia ekipamenduak, ekipamendu optikoak, ogitartekoa prozesatzeko ekipoak eta probako ekipamenduak barne. Gailu ernetzeroago eta indartsuagoen eskaerak hazten jarraitzen du, ezinbestekoa da ekipamendu erdieroaleetan granitoa erabiltzea ezinbestekoa da.
Post ordua: 2012ko apirilak 08