Goi-mailako fabrikazioaren eta punta-puntako ikerketa zientifikoaren arloetan, zehaztasun handiko presio estatikoko aire flotatzaile mugimendu plataforma funtsezko ekipamendua da ultra-zehaztasuneko funtzionamendua lortzeko. Granitozko zehaztasun oinarria plataformaren euskarri nagusia da, eta bere errendimendua estuki lotuta dago lan-ingurunearekin. Ingurumen-eskakizun hauek ulertzeak eta betetzeak ez du soilik plataformaren zehaztasun handiko funtzionamendua bermatzen, baita enpresaren zati garrantzitsu bat ere, erlazionatutako arloetan duen lehiakortasuna hobetzeko, eta hori zehatz-mehatz deskribatzen da jarraian.
1. Tenperatura: kontrol zehatza dimentsio-egonkortasuna bermatzeko
Granitoa bere egonkortasunagatik ezaguna den arren, bere hedapen termikoaren koefizientea ez da zero, eta tenperatura aldaketa txikiek bere dimentsio-zehaztasuna eragin dezakete. Oro har, granitoaren hedapen termikoaren koefizientea 5-7 ×10⁻⁶/℃ da. Presio estatikoko aire flotatzaileko mugimendu-plataforma zehatzaren aplikazio-eszenatokian, aldaketa txiki hau plataformak anplifikatuta dago, eta horrek mugimenduaren zehaztasunaren desbideratzea eragin dezake. Adibidez, txip erdieroaleen fabrikazio-prozesuan, litografia-prozesuan danami mailako kokapen-zehaztasun-eskakizunak, 1 °C-ko giro-tenperaturaren gorabeherak, metro 1eko granito-oinarriaren albo-luzerak 5-7 mikra hedapen edo uzkurdura linealak sor ditzake, eta hori nahikoa da txiparen litografia-ereduaren desbideratzea egiteko, errendimendua murrizteko. Beraz, granitozko zehaztasun-oinarria duen presio estatikoko aire flotatzaileko plataforma zehatzean, lan-ingurunearen tenperatura ideala zorrotz kontrolatu behar da 20 °C ±1 °C-tan, enpresek tenperatura konstanteko aire girotuko sistema zehatza instalatu dezakete, giro-tenperatura etengabe kontrolatu eta zehaztasunez doitu, granito-oinarriaren tamainaren egonkortasuna mantenduz, plataformaren funtzionamendu zehatza bermatzeko.
2.hezetasuna: kontrol arrazoizkoa, oinarrizko errendimendua babestu
Hezetasunak ere eragin handia du granitozko oinarri zehatzetan. Hezetasun handiko ingurune batean, granitoak erraz xurgatzen du ur-lurruna, eta kondentsazioa egon daiteke gainazalean, eta horrek ez du soilik aire-flotazio sistemaren funtzionamendu normala oztopatzen, baita granitoaren gainazalaren higadura luzea ere eragingo du, bere zehaztasuna eta bizitza erabilgarria murriztuz. Lente optikoen artezketa tailerra adibide gisa hartuta, hezetasuna % 60ko RH baino handiagoa bada denbora luzez, granitozko oinarriaren gainazalean xurgatzen den ur-lurrunak aire-flotazio filmaren uniformetasuna suntsituko du, eta ondorioz, lenteen artezketa zehaztasuna eta gainazaleko akatsak gutxituko dira. Beraz, lan-ingurunearen hezetasun erlatiboa % 40-% 60 RH artean kontrolatu behar da. Enpresek deshumidifikatzaileak, hezetasun-sentsoreak eta bestelako ekipamenduak erabil ditzakete hezetasuna denbora errealean kontrolatzeko, granitozko oinarri zehatzerako hezetasun-ingurune egokia sortzeko eta presio estatikoaren aire-flotazio mugimendu-plataforma zehatzaren funtzionamendu egonkorra bermatzeko.
3. garbitasuna: zorrotz kontrolatu, partikulen interferentzia ezabatu
Hauts partikulak presio estatikoko aire flotagarriko mugimendu plataforma zehatzaren "etsaia" dira, eta kalte handia egiten diote granitozko oinarri zehatzari. Partikula txikiak gas flotagarriaren irristagailuaren eta granitozko oinarriaren arteko gas-filmaren tartean sartzen direnean, gas-filmaren uniformetasuna suntsitu, marruskadura handitu eta baita oinarriaren gainazala urratu ere egin dezakete, plataformaren mugimenduaren zehaztasuna larriki eraginez. Pieza aeroespazialen mekanizazio ultra-zehaztasuneko tailerrean, aireko hauts partikulak granitozko oinarrian erortzen badira, mekanizazio-erremintaren mugimendu-ibilbidea desbideratu egin daiteke, piezen mekanizazio-zehaztasunari eraginez. Beraz, lan-eremua oso garbi mantendu behar da eta 10.000ko garbitasun-estandarra edo handiagoa lortu. Enpresek aireko hauts partikulak iragaz ditzakete eraginkortasun handiko aire-iragazkiak (HEPA) instalatuz, eta langileei hautsik gabeko arropa, oinetako-estalkiak eta abar janztea eskatu, gizakiek ekarritako hautsa murrizteko eta granitozko oinarriaren eta presio estatikoko aire flotagarriko mugimendu plataforma zehatzaren funtzionamendu-ingurunea mantentzeko.
4. Bibrazioa: Isolamendu eraginkorra espazio leun bat sortzeko
Kanpoko bibrazioak eragin handia izango du zehaztasun-presio estatikoaren airezko plataforma flotagarriaren zehaztasunean, nahiz eta zehaztasun-granitozko oinarriak bibrazio-atenuazio-ahalmen jakin bat izan, baina erresistentzia handiko bibrazioak bere babes-muga hautsi dezake oraindik. Fabrikako trafikoak eta ekipamendu mekaniko handien funtzionamenduak sortutako bibrazioa granitozko oinarrira transmititzen da lurzoruaren bidez, eta horrek plataformaren mugimenduaren zehaztasunean eragingo du. Goi-mailako CMM-etan, bibrazioak neurketa-zundaren eta neurtu beharreko piezaren arteko kontaktua ezegonkorra izan daiteke, eta horrek neurketa-datuen desbideratzea eragin dezake. Arazo hau konpontzeko, bibrazio-isolamendu neurri eraginkorrak hartu behar dira, hala nola, bibrazio-isolamenduko alfonbrak jartzea ekipamenduaren instalazio-eremuan, bibrazio-isolamenduko oinarriak eraikitzea edo bibrazio-isolamenduko sistema aktiboa erabiltzea kanpoko bibrazioa aktiboki konpentsatzeko, eta lan-ingurune lasai eta egonkorra sortzea granitozko zehaztasun-oinarriarentzat eta zehaztasun-presio estatikoaren airezko mugimendu-plataforma flotagarriarentzat.
Goiko ingurumen-eskakizunak betetzea, granitozko zehaztasun-oinarriaren abantailak guztiz aprobetxatzeko, zehaztasun-presio estatikoko aire flotagarriko mugimendu-plataforman, plataformak zehaztasun handiko eta egonkortasun handiko mugimendu-kontrol zerbitzuak eskaintzen dituela ziurtatzeko hainbat industriarentzat. Enpresek ekoizpen-ingurunean xehetasun hauei erreparatzen badiete, zehaztasun-fabrikazioan, ikerketa zientifikoan eta beste arlo batzuetan aukera aprobetxatuko dute, lehiakortasuna hobetuko dute eta garapen iraunkorra lortuko dute.
Argitaratze data: 2025eko apirilaren 10a