1. Dimentsio-zehaztasuna
Lautasuna: oinarriaren gainazalaren lautasunak estandar oso altua izan behar du, eta lautasun-erroreak ez du ±0,5 μm gainditu behar 100 mm × 100 mm-ko edozein eremutan; oinarri-plano osoan, lautasun-errorea ±1 μm-ren barruan kontrolatzen da. Horrek bermatzen du erdieroale-ekipoen osagai nagusiak, hala nola litografia-ekipoen esposizio-burua eta txipak detektatzeko ekipoen zunda-mahaia, modu egonkorrean instalatu eta zehaztasun handiko plano batean funtziona daitezkeela, ekipamenduaren bide optikoaren eta zirkuituaren konexioaren zehaztasuna bermatzen duela, eta oinarriaren plano irregularrak eragindako osagaien desplazamendu-desbideratzea saihestea, eta horrek erdieroale-txiparen fabrikazioan eta detekzio-zehaztasunean eragiten duela.
Zuzentasuna: Oinarri bakoitzaren zuzentasuna funtsezkoa da. Luzeraren norabidean, zuzentasun-erroreak ez du ±1μm baino gehiago izan behar 1m bakoitzeko; zuzentasun diagonalaren errorea ±1.5μm-ren barruan kontrolatzen da. Litografia-makina zehaztasun handikoa adibide gisa hartuta, mahaia oinarriaren gida-errailean zehar mugitzen denean, oinarriaren ertzaren zuzentasunak zuzenean eragiten dio mahaiaren ibilbidearen zehaztasunari. Zuzentasuna estandarra ez bada, litografia-eredua distortsionatu eta deformatu egingo da, eta ondorioz, txiparen fabrikazio-errendimendua murriztuko da.
Paralelismoa: Oinarriaren goiko eta beheko gainazalen paralelismo-errorea ±1μm-ren barruan kontrolatu behar da. Paralelismo onak grabitate-zentro orokorraren egonkortasuna berma dezake ekipamendua instalatu ondoren, eta osagai bakoitzaren indarra uniformea da. Erdieroaleen oblea fabrikatzeko ekipamenduetan, oinarriaren goiko eta beheko gainazalak paraleloak ez badira, oblea okertu egingo da prozesatzean, prozesuaren uniformetasunean eragina izanik, hala nola grabatzean eta estalduran, eta, beraz, txiparen errendimenduaren koherentzian eragina izanik.
Bigarrenik, materialen ezaugarriak
Gogortasuna: Granitozko oinarri-materialaren gogortasunak Shore gogortasun HS70 edo handiagoa izan behar du. Gogortasun handiak ekipamenduaren funtzionamenduan zehar osagaien mugimendu eta marruskadura maizengatik eragindako higadura eraginkortasunez erresistentea da, oinarriak erabilera luzearen ondoren zehaztasun handiko tamaina mantentzen duela ziurtatuz. Txip-ontziratzeko ekipamenduan, robot-besoak maiz hartzen du txipa eta oinarrian jartzen du, eta oinarriaren gogortasun handiak gainazalean marradura errazak sortzea eta robot-besoaren mugimenduaren zehaztasuna mantentzea bermatzen du.
Dentsitatea: Materialaren dentsitatea 2,6-3,1 g/cm³ artekoa izan behar da. Dentsitate egokiak oinarriak egonkortasun ona izatea ahalbidetzen du, eta horrek ekipamendua eusteko zurruntasun nahikoa bermatzen du, eta ez du ekipamendua instalatzeko eta garraiatzeko zailtasunik sortuko gehiegizko pisuagatik. Erdieroaleen ikuskapen-ekipo handietan, oinarri-dentsitate egonkorrak ekipamenduaren funtzionamenduan bibrazio-transmisioa murrizten laguntzen du eta detekzio-zehaztasuna hobetzen du.
Egonkortasun termikoa: hedapen linealaren koefizientea 5×10⁻⁶/℃ baino txikiagoa da. Erdieroaleen ekipoak oso sentikorrak dira tenperatura aldaketekiko, eta oinarriaren egonkortasun termikoa zuzenean lotuta dago ekipamenduaren zehaztasunarekin. Litografia prozesuan, tenperaturaren gorabeherek oinarriaren hedapena edo uzkurdura eragin dezakete, eta ondorioz, esposizio-ereduaren tamainan desbideratzea. Hedapen linealaren koefiziente baxua duen granitozko oinarriak tamaina-aldaketa oso tarte txiki batean kontrola dezake ekipamenduaren funtzionamendu-tenperatura aldatzen denean (orokorrean 20-30 °C), litografiaren zehaztasuna bermatzeko.
Hirugarrena, gainazalaren kalitatea
Zimurtasuna: Oinarrizko gainazalaren zimurtasunaren Ra balioa ez da 0,05 μm baino handiagoa. Gainazal ultra-leunak hautsaren eta ezpurutasunen xurgapena murriztu dezake eta erdieroale txipen fabrikazio ingurunearen garbitasunean duen eragina murriztu. Txip fabrikazioko hautsik gabeko tailerrean, partikula txikiek akatsak sor ditzakete, hala nola txiparen zirkuitulaburra, eta oinarriaren gainazal leunak tailerraren ingurune garbia mantentzen eta txiparen errendimendua hobetzen laguntzen du.
Akats mikroskopikoak: Oinarriaren gainazalak ez du pitzadura, hareazko zulo, poro eta bestelako akats ikusgairik izan behar. Maila mikroskopikoan, zentimetro karratuko 1 μm baino diametro handiagoa duten akatsen kopurua ez da 3 baino handiagoa izan behar mikroskopia elektronikoaren bidez. Akats hauek oinarriaren egitura-erresistentzian eta gainazalaren lautasunean eragina izango dute, eta, ondoren, ekipamenduaren egonkortasunean eta zehaztasunean.
Laugarrena, egonkortasuna eta kolpeen erresistentzia
Egonkortasun dinamikoa: Erdieroaleen ekipamenduen funtzionamenduak sortutako bibrazio-ingurune simulatuan (10-1000Hz bibrazio-maiztasun tartea, 0.01-0.1mm anplitudea), oinarrian dauden muntaketa-puntu nagusien bibrazio-desplazamendua ±0.05μm-ren barruan kontrolatu behar da. Erdieroaleen proba-ekipoen adibidea hartuta, gailuaren beraren bibrazioa eta inguruko ingurunearen bibrazioa oinarrira transmititzen badira funtzionamenduan zehar, proba-seinalearen zehaztasuna eragin daiteke. Egonkortasun dinamiko onak proba-emaitza fidagarriak berma ditzake.
Erresistentzia sismikoa: Oinarriak errendimendu sismiko bikaina izan behar du, eta bibrazio-energia azkar arindu behar du bat-bateko kanpoko bibrazio baten menpe dagoenean (adibidez, uhin sismikoen simulazio-bibrazioa), eta ziurtatu ekipamenduaren osagai nagusien posizio erlatiboa ±0,1 μm-ren barruan aldatzen dela. Lurrikara-joera duten eremuetan dauden erdieroale-fabriketan, lurrikararen aurkako oinarriek eraginkortasunez babestu ditzakete erdieroale-ekipo garestiak, ekipoei kalteak eta bibrazioengatik ekoizpen-etenaldiak izateko arriskua murriztuz.
5. Egonkortasun kimikoa
Korrosioarekiko erresistentzia: Granitozko oinarriak erdieroaleen fabrikazio-prozesuan ohikoak diren agente kimikoen korrosioa jasan behar du, hala nola azido fluorhidrikoa, aqua regia, etab. % 40ko masa-frakzioko azido fluorhidrikoko disoluzioan 24 orduz busti ondoren, gainazalaren kalitatearen galera-tasak ez du % 0,01 gainditu behar; Aqua regian busti (azido klorhidrikoaren eta azido nitrikoaren arteko bolumen-erlazioa 3:1) 12 orduz, eta ez da korrosioaren arrastorik ageriko gainazalean. Erdieroaleen fabrikazio-prozesuak hainbat grabatu eta garbiketa kimiko prozesu dakartza, eta oinarriaren korrosioarekiko erresistentzia onak ingurune kimikoan epe luzerako erabilera ez dela higatzen eta zehaztasuna eta egitura-osotasuna mantentzen direla bermatzen du.
Kutsaduraren aurkakoa: Oinarrizko materialak erdieroaleen fabrikazio-ingurunean ohikoak diren kutsatzaileen xurgapen oso baxua du, hala nola gas organikoak, metal ioiak, etab. 10 PPM gas organiko (adibidez, bentzenoa, toluenoa) eta 1 ppm metal ioi (adibidez, kobre ioiak, burdin ioiak) dituen ingurune batean 72 orduz jartzen denean, kutsatzaileen xurgapenak oinarriaren gainazalean eragindako errendimendu-aldaketa hutsala da. Horrek kutsatzaileak oinarriaren gainazaletik txiparen fabrikazio-eremuan migratzea eta txiparen kalitatean eragitea eragozten du.
Argitaratze data: 2025eko martxoaren 28a