Granito ohea osagai garrantzitsua da hainbat gailu erdieroaleetan. Material oso egonkorra eta zurruna denez, granitoa oso erabilia da prozesatzeko ekipoen erdieroaleentzako oinarri gisa. Hedapen termiko baxuko koefizientearen, dimentsio altuaren egonkortasuna eta propietate mekaniko bikainak ditu. Ezaugarri horiek direla eta, granitozko ohea gehienetan hiru erdieroale-gailu mota desberdinetan erabiltzen da - Metrologia Ekipamenduak, Litografia Ekipamenduak eta Ikuskapen Ekipamenduak.
Metrologia ekipamendua erdieroaleen gailuaren dimentsio kritikoak neurtzeko eta antzemateko erabiltzen da. Erretinako fabrikazio prozesuaren kalitatea eta koherentzia mantentzeko funtsezkoa da. Metrologiako ekipoak mikroskopio optikoak, mikroskopio elektroak eta atomikoko mikroskopioak (AFMS) bezalako tresnak biltzen ditu. Neurketa-tresna horien errendimendua haien egonkortasunaren, zehaztasunaren eta bibrazioarekiko erresistentziaren araberakoa denez, granitoa da ohe materiala egiteko aukera aproposa. Granitozko ohearen uniformetasunak eta egonkortasuna plataforma egonkorra eskaintzen dute instrumentuetarako, eta horrek zehaztasuna eta fidagarritasuna hobetzen ditu.
Litografia ekipamendua mikrotxip ereduak obran egiteko erabiltzen da. Litografia prozesuak zehaztasun maila eta zehaztasun maila altua behar du zirkuitu konplexuak sortzeko eta txiparen errendimendua hobetzeko. Litografiako ekipamenduak argia erabiltzen duten stepper eta eskaner sistemak biltzen ditu, irudiak wafer gainean transferitzeko. Litografiako prozesua bibrazioarekiko eta aldaketa termikoekiko oso sentikorra denez, kalitate handiko ohea ezinbestekoa da litografia prozesuaren egonkortasuna eta errepikapena bermatzeko. Granitozko oheek Litografia Sistemetarako beharrezkoa den egonkortasuna eta bibrazio estalduraren errendimendua eskaintzen dute. Granitozko oheak pausoak edo eskaner sistemak harreman espazial zehatzak mantentzeko aukera ematen du zehaztasun handia eta azken produktuaren kalitatea bermatuz.
Ikuskapen ekipamendua erdieroale gailuetan akatsak hautemateko erabiltzen da. Ikuskapen ekipoak laserra eskaneatzeko mikroskopioak, mikroskopio elektronikoak eta mikroskopio optikoak bezalako sistemak biltzen ditu. Gailu horien beharra oso zehatza, egonkorra eta bibrazioarekiko erresistentea da, granitozko oheak material ezin hobeak dira. Granitoko propietate mekanikoak eta dimentsio egonkortasuna bibrazio isolamenduan laguntzen dute, eta horrek ikuskatzeko ekipoen irteeraren zehaztasuna hobetzen du.
Ondorioz, granito ohea funtsezkoa da erdieroalearen industriarako eta oso erabilita dago ekipamendu mota desberdinetan. Dimentsioaren egonkortasuna, dimentsioaren egonkortasuna, hedapen termiko baxuko koefizientea eta egonkortasun mekaniko bikaina da, granitoa aukera ezin hobea da ekipamendu erdieroaleen ohe materiala. Kalitate handiko granitozko oheak erdieroale ekipamendurako beharrezko egonkortasuna, zehaztasuna eta bibrazioarekiko erresistentzia eskaintzen duenez, azken produktuaren kalitatea hobetzen du. Hori dela eta, granito ohe erdieroaleko ekipoetan erabiltzea ziur dago datozen urteetan jarraitzea.
Ordua: 20120ko apirilak 03