Granitoa erdieroale gailuetan erabilitako material ezagunenetako bat da. Arroka gogorra eta igneo mota bat da, gris, arrosa eta zuriaren tonu desberdinetan datorrena. Granitoa ezaguna da bere iraunkortasunagatik, hedapen termiko baxuko koefizientearengatik eta eroankortasun termiko bikaina, material ezin hobea bihurtzeko gailu erdieroaleen azpisistemetan erabiltzeko.
Gailu erdieroaleetan granitoa erabiltzen duten azpisistema nagusietako bat wafer manipulazioa eta prozesatzeko azpisistema da. Azpisistema honek funtsezko eginkizuna du gailu erdieroaleen fabrikazio prozesuan. Wafer gailuaren hasierako substratua da, eta manipulazio eta tratamendu azpisistema arduratzen dira ogiak ganbara eta prozesatzeko ekipo desberdinen artean transferitzea. Granitoa gainazal manipulazio oso zehatzak eta lauak sortzeko erabiltzen da eta plataforma egonkorra eskaintzen du wafer prozesatzeko.
Granitoa erabiltzen duen beste azpisistema kritiko bat hutsezko azpisistema da. Gailu erdieroaleetan, hutsezko ganberak fabrikazioan kutsadura ekiditeko erabiltzen dira. Sistema modu eraginkorrean funtziona dezan, ganbera erabat zigilatu behar da, hau da, granitoa sartzen da. Granitoa material aproposa da hutsezko ganberetarako, oso baxuko tasa baxuak dituelako eta hutsezko ingurune egonkorra mantendu dezakeelako. Gainera, Graniteko mekanizazio altuko zehaztasunak zigilu ezin hobea sortzea ahalbidetzen du, wafer prozesatzeko hutsezko ingurune fidagarria eskaintzeko.
Lerrokatze azpisistema granitozko propietate bereziak erabiltzen dituen beste sistema kritiko bat da. Azpisistema hau funtsezkoa da gailu erdieroaleen zati desberdinak zehaztasunez eta zehaztasunez lerrokatzea. Granitoa lerrokatzeko faseen diseinuan eta eraikuntzan erabiltzen da zurruntasun eta egonkortasun handia bermatzeko. Granitoaren zurruntasun handia lerrokatze-zehaztasun handia lortzen laguntzen du, gailu erdieroale oso zehatzak eta fidagarriak ekoizten.
Azkenik, metrologia azpisistema granitoa erabiltzen duten gailu erdieroaleen beste sistema bat da. Metrologiak funtsezko eginkizuna du Wafer prozesatzean, eta azpisistema honen zehaztasuna funtsezkoa da gailuaren kalitatea bermatzeko. Granitoak plataforma egonkorra eta gogorra eskaintzen du, bibrazioak murrizten eta tenperatura gorabeheren eragina minimizatzen duena. Horrek, era berean, metrologia azpisisteman neurketa zehatzak lortzen laguntzen du, kalitate handiko erdieroaleko gailuak ekoiztea lortuz.
Ondorioz, Granitoa material erabakigarria da gailu erdieroaleen fabrikazioan. Zurruntasun altua, hedapen termiko baxua, eta eroankortasun termiko bikainak material bikainak dira, esaterako, erdieroaleen gailuetan, besteak beste, wafer manipulazioa eta tramitazioa, hutsezko azpisistema, lerrokatzeko azpisistema eta metrologia azpisistema. Gainera, granitoak erdieroaleen gailuetan erabiltzeak industria ugari eraldatu dituzten gailu oso zehatzak, fidagarriak eta eraginkorrak ekoizten lagundu du.
Posta: 2012-0-19-19