Erdieroaleen obleen ikuskapenaren arloan, gela garbiaren ingurunearen garbitasuna zuzenean lotuta dago produktuaren etekinarekin. Txip fabrikazio prozesuen zehaztasuna hobetzen jarraitzen duen heinean, detekzio ekipamenduen eramateko plataformen eskakizunak gero eta zorrotzagoak dira. Granitozko plataformek, ioi metalikoen askapen zero eta partikula kutsadura txikiko ezaugarriekin, altzairu herdoilgaitzezko material tradizionalak gainditu dituzte eta obleen ikuskapen ekipamenduetarako irtenbide hobetsia bihurtu dira.
Granitoa arroka igneo naturala da, batez ere kuartzoa, feldespatoa eta mika bezalako mineral ez-metalikoz osatua. Ezaugarri honek metal ioien askapen zeroaren abantaila ematen dio. Aldiz, altzairu herdoilgaitza, burdina, kromoa eta nikela bezalako metalen aleazio gisa, gainazalean korrosio elektrokimikoa izateko joera du ur-lurrunaren eta gas azido edo alkalinoen higaduraren ondorioz gela garbi bateko ingurune batean, eta horrek Fe²⁺ eta Cr³⁺ bezalako metal ioien prezipitazioa eragiten du. Ioi txiki hauek oblearen gainazalera itsasten direnean, material erdieroalearen propietate elektrikoak aldatuko dituzte ondorengo prozesuetan, hala nola fotolitografian eta grabatzean, transistorearen atalase-tentsioaren desbideratzea eragingo dute eta baita zirkuitulaburrak ere zirkuituan. Erakunde profesionalen proben datuek erakusten dute granitozko plataforma gela garbiaren tenperatura eta hezetasun ingurune simulatu batean (23±0.5℃, %45±5 RH) 1000 orduz etengabe egon ondoren, metal ioien askapena detekzio-muga baino txikiagoa izan zela (< 0.1ppb). Altzairu herdoilgaitzezko plataformak erabiltzean, metal ioien kutsadurak obelen akatsen tasa % 15etik % 20ra bitartekoa izan daiteke.
Partikulen kutsaduraren kontrolari dagokionez, granitozko plataformek ere oso ondo funtzionatzen dute. Gela garbiek airean dauden partikula esekidunen kontzentrazioari dagokionez eskakizun oso zorrotzak dituzte. Adibidez, ISO 1. klaseko gela garbietan, metro kubiko bakoitzeko onartzen den 0,1 μm-ko partikula kopurua ez da 10 baino handiagoa. Altzairu herdoilgaitzezko plataformak leuntzeko tratamendua jaso badu ere, metalezko hondakinak edo oxido-eskala askatu daitezke kanpoko indarren ondorioz, hala nola ekipamenduen bibrazioa eta langileen funtzionamendua, eta horrek detekzio-bide optikoan eragin dezake edo oblearen gainazala urra dezake. Granitozko plataformek, mineral-egitura trinkoa (dentsitatea ≥2,7 g/cm³) eta gogortasun handia (Mohs eskalan 6-7) dutenez, ez dute higadurarik edo hausturarik izaten epe luzerako erabileran. Neurketek erakusten dute detekzio-ekipoen eremuko airean dauden partikula esekidunen kontzentrazioa % 40 baino gehiago murriztu dezaketela altzairu herdoilgaitzezko plataformen aldean, gela garbien mailako estandarrak eraginkortasunez mantenduz.
Bere ezaugarri garbiez gain, granitozko plataformen errendimendu osoa altzairu herdoilgaitzarena baino askoz handiagoa da. Egonkortasun termikoari dagokionez, hedapen termikoaren koefizientea (4-8) ×10⁻⁶/℃ baino ez da, altzairu herdoilgaitzaren erdia baino gutxiago (17×10⁻⁶/℃ inguru), eta horrek detekzio-ekipoen kokapen-zehaztasuna hobeto mantentzen du gela garbiko tenperatura gorabehera egiten duenean. Amortizazio-ezaugarri altuak (amortizazio-erlazio > 0,05) ekipamenduaren bibrazioa azkar arindu eta detekzio-zunda dardarka ez dadin eragotzi dezake. Bere korrosioarekiko erresistentzia naturalak egonkor mantentzea ahalbidetzen du fotoerresistente disolbatzaileen, grabatzeko gasen eta beste produktu kimiko batzuen eraginpean egon arren, estaldura-babes gehigarririk behar izan gabe.
Gaur egun, granitozko plataformak oso erabiliak dira oblea fabrikazio lantegi aurreratuetan. Datuen arabera, granitozko plataforma hartu ondoren, oblearen gainazaleko partikula detektatzeko akatsen tasa % 60 jaitsi da, ekipamenduen kalibrazio zikloa hiru aldiz luzatu da eta ekoizpen kostu orokorra % 25 jaitsi da. Erdieroaleen industria zehaztasun handiagorantz mugitzen den heinean, granitozko plataformek, metal ioien askapen zero eta partikula kutsadura txikia bezalako abantaila nagusiekin, oblearen ikuskapenerako laguntza egonkorra eta fidagarria eskaintzen jarraituko dute, industriaren aurrerapena bultzatzen duen indar garrantzitsu bihurtuz.
Argitaratze data: 2025eko maiatzaren 20a