Erdieroaleen fabrikazio tailerrean, txiparen fabrikazio prozesuaren baldintzak ingurumen-baldintzei eta ekipamenduen zehaztasunari dagokionez muturrekoak dira, eta edozein desbideratze txikik txiparen errendimenduan beherakada nabarmena ekar dezake. XYZT zehaztasun-portaleko mugimendu plataformak granitozko osagaietan oinarritzen da plataformaren beste atalekin elkarlanean aritzeko, nanoeskalako zehaztasuna lortzeko oinarri sendo bat eraikitzeko.
Bibrazioak blokeatzeko propietate bikainak
Erdieroaleen fabrikazio tailerrean, periferiako ekipoen funtzionamenduak eta inguruan dabiltzan langileek bibrazioak sor ditzakete. Granitozko osagaien barne egitura trinkoa eta uniformea da, moteltze handiko ezaugarri naturalekin, bibrazio "hesi" eraginkor baten antzera. Kanpoko bibrazioa XYZT plataformara transmititzen denean, granitozko osagaiak bibrazio-energiaren % 80 baino gehiago arindu dezake eraginkortasunez, eta bibrazioak plataformaren mugimenduaren zehaztasunean duen interferentzia murriztu. Aldi berean, plataforma zehaztasun handiko aire-flotagailu gida-sistema batez hornituta dago, granitozko osagaiekin batera lan egiten duena. Aire-flotagailu gidak presio handiko gasak eratutako gas-film egonkorra erabiltzen du plataformaren mugitzen diren piezen kontakturik gabeko esekidura-mugimendua lortzeko eta marruskadura mekanikoak eragindako bibrazio txikia murrizteko. Biak batera, plataformaren kokapen-zehaztasuna beti nanometro mailan mantentzen dela ziurtatzen dute txiparen litografia eta grabatzea bezalako prozesu gakoetan, eta bibrazioak eragindako txiparen zirkuituen ereduen desbideratzea saihesten dute.
Egonkortasun termiko bikaina
Tailerreko tenperatura eta hezetasunaren gorabeherek eragin handia dute txipak fabrikatzeko ekipoen zehaztasunean. Granitoaren hedapen termikoaren koefizientea oso baxua da, oro har 5-7 ×10⁻⁶/℃-koa, eta tamaina ia ez da aldatzen tenperatura aldatzen denean. Tailerrean egunaren eta gauaren arteko tenperatura-aldeak edo ekipoak sortzen duen beroak giro-tenperatura gorabehera eragiten badu ere, granitoaren osagaiak egonkor mantendu daitezke plataformaren deformazioa saihesteko, hedapen eta uzkurdura termikoengatik. Aldi berean, plataformak hornitutako tenperatura-kontrol sistema adimendunak giro-tenperatura kontrolatzen du denbora errealean, aire girotua eta beroa xahutzeko ekipoa automatikoki doitzen ditu, eta tailerreko tenperatura 20 °C ±1 °C-tan mantentzen du. Granitoaren bero-egonkortasunaren abantailekin batera, plataformak epe luzeko funtzionamenduan, ardatz bakoitzaren mugimendu-zehaztasunak beti betetzen dituela txipak fabrikatzeko nanometro-zehaztasun estandarrak, txiparen litografia-ereduaren tamaina zehatza dela eta grabatzeko sakonera uniformea dela ziurtatzeko.
Ingurune garbiaren beharrak asetu
Erdieroaleen fabrikazio tailerrak garbitasun maila altua mantendu behar du hauts partikulek txipa kutsatzea saihesteko. Granitozko materialak berak ez du hautsik sortzen, eta gainazala leuna da, ez da erraz xurgatzen hautsa. Plataformak, oro har, egitura guztiz itxia edo erdi-itxia du kanpoko hautsaren sarrera murrizteko. Barneko aire zirkulazio sistema tailerreko aire girotu garbiarekin lotuta dago, barneko airearen garbitasuna txiparen fabrikazioak behar duen mailara iristeko. Ingurune garbi honetan, granitozko osagaiek ez dute eraginik izango hautsaren higaduraren ondoriozko errendimenduan, eta plataformaren zehaztasun handiko sentsoreak eta motorrak bezalako osagai gakoek ere egonkor funtziona dezakete, txiparen fabrikaziorako nanoeskalako zehaztasun etengabea eta fidagarria bermatuz, eta erdieroaleen industriari prozesu maila altuago batera igotzen lagunduz.
Argitaratze data: 2025eko apirilaren 14a