Erdieroaleen fabrikazioan, fotolitografia makina txipen zehaztasuna zehazten duen gailu gakoa da, eta granitozko oinarria, bere ezaugarri anitzekin, fotolitografia makinaren osagai ezinbesteko bihurtu da.
Egonkortasun termikoa: Tenperatura aldaketen aurkako "ezkutua"
Fotolitografia makina bat martxan dagoenean, bero kantitate handia sortzen du. 0,1 ℃-ko tenperatura-aldaketa batek ere ekipamenduaren osagaien deformazioa eragin dezake eta fotolitografiaren zehaztasunean eragina izan dezake. Granitoaren hedapen termikoaren koefizientea oso baxua da, 4-8 ×10⁻⁶/℃ baino ez, hau da, altzairuarenaren 1/3 eta aluminiozko aleazioaren 1/5 gutxi gorabehera. Horri esker, granitoaren oinarriak dimentsio-egonkortasuna mantentzen du fotolitografia makina denbora luzez funtzionatzen duenean edo ingurune-tenperatura aldatzen denean, osagai optikoen eta egitura mekanikoen kokapen zehatza bermatuz.
Bibrazioaren aurkako errendimendu bikaina: bibrazioa xurgatzen duen "belakia"
Erdieroaleen fabrika batean, inguruko ekipoen funtzionamenduak eta pertsonen mugimenduak bibrazioak sor ditzakete. Granitoak dentsitate handia eta ehundura gogorra ditu, eta moteltze-propietate bikainak ditu, metalek baino 2 eta 5 aldiz gehiagoko moteltze-erlazioarekin. Kanpoko bibrazioak granitoaren oinarrira transmititzen direnean, barneko mineral-kristalen arteko marruskadurak bibrazio-energia bero-energia bihurtzen du xahutzeko, eta horrek bibrazioa nabarmen murriztu dezake denbora gutxian, fotolitografia-makinak egonkortasuna azkar berreskura dezan eta bibrazioengatik fotolitografia-eredua lausotzea edo deslerrokatzea saihestea ahalbidetuz.
Egonkortasun kimikoa: Ingurune garbi baten "zaindaria"
Fotolitografia-makina baten barnealdea hainbat ingurune kimikorekin kontaktuan jartzen da, eta ohiko metalezko materialak korrosioarekiko edo partikulak askatzeko joera dute. Granitoa kuartzoa eta feldespatoa bezalako mineralez osatuta dago. Propietate kimiko egonkorrak eta korrosioarekiko erresistentzia handia ditu. Azido eta alkali disoluzioetan busti ondoren, gainazaleko korrosioa oso txikia da. Bitartean, bere egitura trinkoak ia ez du hondakinik edo hautsik sortzen, gela garbien estandar gorenen eskakizunak betetzen ditu eta oblea kutsatzeko arriskua murrizten du.
Prozesatzeko egokitasuna: erreferentzia zehatzak sortzeko "material aproposa"
Fotolitografia-makinaren osagai nagusiak erreferentzia-gainazal zehatz batean instalatu behar dira. Granitoaren barne-egitura uniformea da eta erraz prozesatzen da zehaztasun handiz artezketa, leuntzea eta beste teknika batzuen bidez. Bere lautasuna ≤0.5μm/m-ra irits daiteke, eta gainazaleko zimurtasuna Ra ≤0.05μm da, lente optikoak bezalako osagaientzako instalazio-oinarri zehatza eskainiz.
Iraupen luzeko eta mantentze-lanik gabekoak: kostuak murrizteko "tresna zorrotzak"
Erabilera luzean nekea eta pitzadurak izateko joera duten metalezko materialekin alderatuta, granitoak ia ez du deformazio plastikorik edo hausturarik jasaten karga normaletan, eta ez du gainazaleko tratamendurik behar, horrela estaldura zuritzeko eta kutsatzeko arriskua saihestuz. Aplikazio praktikoetan, urte askotan erabili ondoren, granitozko oinarriaren errendimendu-adierazle nagusiak egonkor mantentzen dira, ekipamenduaren funtzionamendu- eta mantentze-kostuak murriztuz.
Egonkortasun termikotik hasi eta bibrazioarekiko erresistentziatik hasi eta inertzia kimikoraino, granitozko oinarriaren ezaugarri anitzek fotolitografia-makinaren eskakizunak ezin hobeto betetzen dituzte. Txip fabrikazio-prozesua zehaztasun handiagorantz garatzen jarraitzen duen heinean, granitozko oinarriek ordezkaezintasun handiko zeregina betetzen jarraituko dute erdieroaleen fabrikazioaren arloan.
Argitaratze data: 2025eko maiatzaren 20a