Goi-mailako fabrikazioaren eta punta-puntako ikerketa zientifikoaren arloan, aire-flotagailuaren ultra-zehaztasuneko mugimendu-modulua funtsezko ekipamendu bihurtu da eragiketa eta neurketa finerako, bere zehaztasun-errendimendu bikainari esker. Granitozko zehaztasun-oinarria, euskarri-nukleo gisa, lan-ingurunerarako eskakizun zorrotzak ditu, eta ingurumen-baldintza egokiak dira bere errendimendu egonkorra eta efektu onena bermatzeko oinarria.
Lehenik eta behin, tenperaturaren kontrola: zehaztasun "egonkortzailea"
Granitoa bere egonkortasunagatik ezaguna den arren, ez da guztiz immune tenperatura aldaketekiko. Bere hedapen termikoaren koefizientea baxua den arren, oro har 5-7 ×10⁻⁶/℃, ultra-zehaztasuneko mugimendu-kontroleko eszenatokietan, tenperatura-gorabehera sotilek dimentsio-aldaketak eragin ditzakete eta moduluen zehaztasunean eragina izan. Erdieroale-txipen fabrikazio-tailerrean, litografia-prozesuak danami mailako kokapen-zehaztasuna behar du, eta giro-tenperatura 1 °C-tan aldatzen da, eta metro 1eko alde-luzera duen granito-oinarrak 5-7 mikra-ko hedapen edo uzkurdura lineala sor dezake. Aldaketa txiki hau aire-flotagailuaren ultra-zehaztasuneko mugimendu-moduluak transmititzen du, eta hori nahikoa da txiparen litografia-ereduaren desbideratzea egiteko eta errendimendua asko murrizteko. Beraz, airez flotatzen duen ultra-zehaztasun mugimendu moduluaren granitozko zehaztasun oinarriarekin hornituta, lan-ingurunearen tenperatura ideala 20 °C ±1 °C-tan kontrolatu behar da, tenperatura konstanteko zehaztasun handiko ekipamenduen laguntzarekin, hala nola tenperatura eta hezetasun konstanteko aire girotuko sistema, inguruneko tenperaturaren etengabeko monitorizazioa eta doikuntza, tenperaturaren gorabeherak tarte oso txikian egon daitezen, oinarriaren tamainaren egonkortasuna mantentzeko, moduluaren funtzionamendu zehaztasun handikoa bermatzeko.
Bigarrenik, hezetasunaren kudeaketa: "harria" hezetasunaren aurkako babesaren gakoa
Hezetasuna granitozko oinarri zehatzaren errendimenduan eragina duen beste faktore garrantzitsu bat da. Hezetasun handiko ingurune batean, granitoak erraz xurgatzen du ur-lurruna, eta horrek gainazalean kondentsazioa sor dezake, eta horrek ez du granitoaren konexio-egonkortasunean eta aire-flotagailuaren mugimendu ultra-zehaztasun moduluan eragiten bakarrik, baita gainazalaren higadura ere eragin dezake eta distira eta zehaztasuna murriztu ditzake epe luzera. Lente optikoen artezketa tailerrean, hezetasuna % 60ko RH baino handiagoa bada denbora luzez, granitozko oinarriaren gainazalean xurgatzen den ur-lurrunak gas-flotagailuaren irristagailuaren mugimenduan eragingo du, eta horrela lenteen artezketa-zehaztasuna murriztuko da eta gainazala akastuna izango da. Beraz, lan-inguruneko hezetasun erlatiboa zorrotz kontrolatu behar da % 40-% 60ko RH artean, eta denbora errealean kontrolatu eta doitu daiteke hezegailuak, hezetasun-sentsoreak eta bestelako ekipamenduak instalatuz, hezetasun handiak granitozko oinarriari kalterik ez egiteko eta aire-flotagailuaren mugimendu ultra-zehaztasun moduluaren funtzionamendu egokia bermatzeko.
Hirugarrena, garbitasun bermea: zehaztasunaren "zaindaria"
Ezin da gutxietsi aire flotazioaren ultra-zehaztasun mugimendu moduluaren granitozko oinarri zehatzari hauts partikulek eragiten dioten kaltea. Partikula txikiak gas flotatzailearen irristagailuaren eta granitozko oinarriaren arteko gas filmaren tartean sartzen direnean, gas filmaren uniformetasuna suntsitu, marruskadura handitu eta baita oinarriaren gainazala urra dezakete, eta ondorioz mugimenduaren zehaztasuna murriztu. Pieza aeroespazialen ultra-zehaztasun mekanizazio tailerrean, aireko hauts partikulak granitozko oinarrian erortzen badira, mekanizazio erremintaren mugimendu ibilbidea desbideratu egin daiteke, piezen mekanizazio zehaztasunari eraginez. Hori dela eta, lan-eremua oso garbi mantendu behar da, 10.000 edo garbitasun maila altuagoak lortuz, airea arazteko ekipoak instalatuz, hala nola eraginkortasun handiko aire iragazkiak (HEPA), aireko hauts partikulak iragaziz, aldi berean, langileek hautsik gabeko arropa, oinetakoen estalkiak eta abar jantzi behar dituzte gizakiek ekarritako hautsa murrizteko. Mantendu granitozko oinarriaren eta aire flotatzailearen ultra-zehaztasun mugimendu moduluaren funtzionamendu ingurune zehatza.
Lau, bibrazioen isolamendua: "kolpe-pad"-aren funtzionamendu leuna
Kanpoko bibrazioa aire-flotagailuaren ultra-zehaztasun mugimendu-moduluaren zehaztasunaren etsaia da. Granitozko oinarri zehatzak bibrazioen arintze gaitasun jakin bat badu ere, indar handiko bibrazioak bere babes-muga hautsi dezake. Fabrikako trafikoak eta ekipamendu mekaniko handien funtzionamenduak sortutako bibrazioa granitozko oinarrira transmititzen da lurzoruaren bidez, eta horrek aire-flotagailuaren ultra-zehaztasun mugimendu-moduluaren mugimenduaren zehaztasunean eragingo du. Goi-mailako CMM-etan, bibrazioak neurketa-zundaren eta neurtu beharreko piezaren arteko kontaktua ezegonkorra izan daiteke, eta horrek neurketa-datuen desbideratzea eragin dezake. Arazo hau konpontzeko, bibrazio-isolamendu neurri eraginkorrak hartu behar dira, hala nola, bibrazio-isolamenduko alfonbrak jartzea ekipamenduaren instalazio-eremuan, bibrazio-isolamenduko oinarriak eraikitzea edo bibrazio-isolamenduko sistema aktiboa erabiltzea kanpoko bibrazioa aktiboki konpentsatzeko, eta granitozko oinarri zehatzarentzat eta aire-flotagailuaren ultra-zehaztasun mugimendu-moduluarentzat lan-ingurune lasai eta egonkorra sortzea.
Aire-flotagailuaren ultra-zehaztasun mugimendu-moduluaren granitozko zehaztasun-oinarrak tenperatura, hezetasun, garbitasun eta bibrazio-kontrolaren ingurumen-eskakizunak guztiz betez soilik eman diezaieke bere errendimendu-abantailei erabilera osoa, berme fidagarria eman diezaieke hainbat arlotan ultra-zehaztasuneko eragiketei, eta industriari zehaztasun handiko fabrikazio eta ikerketa zientifiko maila baterantz mugitzen lagun diezaioke.
Argitaratze data: 2025eko apirilaren 8a