Erdieroaleen fabrikazioaren zehaztasun-iraultza: granitoa mikroi-teknologiarekin bat egiten duenean
1.1 Materialen zientzian ustekabeko aurkikuntzak
2023ko SEMI Nazioarteko Erdieroaleen Elkartearen txostenaren arabera, munduko fabrika aurreratuen % 63k granitozko oinarriak erabiltzen hasi dira, ohiko metalezko plataformen ordez. Lurraren sakonean magma kondentsaziotik sortzen den harri natural honek erdieroaleen fabrikazioaren historia berridazten ari da, bere propietate fisiko bereziengatik:
Inertzia termikoaren abantaila: 4,5 × 10⁻⁶/℃ granitoaren hedapen termikoaren koefizientea altzairu herdoilgaitzarenaren 1/5 baino ez da, eta ±0,001 mm-ko dimentsio-egonkortasuna mantentzen da litografia-makinaren etengabeko lanean.
Bibrazioen moteltze-ezaugarriak: barne-marruskadura koefizientea burdinurtuarena baino 15 aldiz handiagoa da, ekipamenduen mikrobibrazioak eraginkortasunez xurgatuz
Zero magnetizazio izaera: laser neurketan errore magnetikoa erabat ezabatu
1.2 Meategitik fabrikarako metamorfosi-bidaia
ZHHIMG-ren Shandong-eko ekoizpen-oinarri adimenduna adibide gisa hartuta, granito gordin zati batek honako hau jasan behar du:
Ultra-zehaztasuneko mekanizazioa: bost ardatzeko lotura-mekanizazio zentroa 200 orduko fresaketa jarraiturako, gainazaleko zimurtasuna Ra0.008μm-ra arte
Zahartze artifizialeko tratamendua: 48 orduko estres naturala askatzen da tenperatura eta hezetasun konstanteko tailerrean, eta horrek produktuaren egonkortasuna % 40 hobetzen du
Bigarrenik, erdieroaleen fabrikazioaren sei zehaztasun arazoei aurre egin "harri-irtenbidea"
2.1 Oblearen zatikatze-tasa murrizteko eskema
Kasuaren erakustaldia: Alemaniako txirbil-galdaketa batek gure gas bidezko granitozko plataforma flotatzailea hartu ondoren:
| Oblearen diametroa | txip-tasaren murrizketa | lautasunaren hobekuntza |
| 12 hazbete | %67 | ≤0.001mm |
| 18 hazbete | %82 | ≤0.0005mm |
2.2 Litografiaren lerrokatze zehaztasunaren aurrerapen eskema
Tenperatura konpentsatzeko sistema: txertatutako zeramikazko sentsoreak forma aldagaia denbora errealean kontrolatzen du eta plataformaren inklinazioa automatikoki doitzen du
Neurtutako datuak: 28 ℃ ± 5 ℃-ko gorabeherapean, txertatze-zehaztasuna 0,12 μm baino gutxiago aldatzen da
Argitaratze data: 2025eko martxoaren 24a